Mikrosystemtechnik : Entwicklung und Technologie
Enthält: Menz,Wolfgang: Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete (S.92-99) / Mohr,Jürgen u.a.: Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften (99-106) / Mokwa,Wilfried: Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen (106-107)
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Spektrum der Wissenschaft ((1994) Nr.2, S.92-107)
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| Ort / Verlag / Datum: | Deutschland, 02.1994 |
| Erscheinungsjahr: | 1994 |
| Sprache: | Deutsch |
| Klassifikation: | 621.38 Elektronik
007 Kybernetik 007.5 EDV 681.12 Messgerät 61 Medizin |
| Zugänglichkeit: | Medien der SOWIDOK sind nur vor Ort in der AK Bibliothek Wien zugänglich Zugang erfordert Voranmeldung (siehe Bibliothekshomepage) Vervielfältigung nur unter den geltenden gesetzlichen Bestimmungen möglich |
| Beschreibung: | Abbildungen |
| Anmerkungen: | Level: 2 (Bewertung des Dokuments nach SOWIDOK-internen Kriterien: von 1 = sehr relevant, bis 5 = kaum relevant) |
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| Zusammenfassung: | Enthält: Menz,Wolfgang: Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete (S.92-99) / Mohr,Jürgen u.a.: Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften (99-106) / Mokwa,Wilfried: Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen (106-107) |
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| Zugangseinschränkungen: | Medien der SOWIDOK sind nur vor Ort in der AK Bibliothek Wien zugänglich |
| Hierarchiestufe: | Unselbständig erschienen |
| Erscheinungsform: | Unselbständig erschienen |
| Medientyp: | Analog |
| Datenträger: | Analog |
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