Mikrosystemtechnik : Entwicklung und Technologie
Enthält: Menz,Wolfgang: Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete (S.92-99) / Mohr,Jürgen u.a.: Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften (99-106) / Mokwa,Wilfried: Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen (106-107)
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Spektrum der Wissenschaft ((1994) Nr.2, S.92-107)
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Ort / Verlag / Datum: | Deutschland, 02.1994 |
Erscheinungsjahr: | 1994 |
Sprache: | Deutsch |
Klassifikation: | 621.38 Elektronik
007 Kybernetik 007.5 EDV 681.12 Messgerät 61 Medizin |
Zugänglichkeit: | Medien der SOWIDOK sind nur vor Ort in der AK Bibliothek Wien zugänglich Zugang erfordert Voranmeldung (siehe Bibliothekshomepage) Vervielfältigung nur unter den geltenden gesetzlichen Bestimmungen möglich |
Beschreibung: | Abbildungen |
Anmerkungen: | Level: 2 (Bewertung des Dokuments nach SOWIDOK-internen Kriterien: von 1 = sehr relevant, bis 5 = kaum relevant) |
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SOWIDOK
Signatur | Signatur 2 | Verfügbarkeit | Bestellen |
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Ablageschlagwort: 621.38 Elektronik | Dokument Nr. D-021237 | Verfügbar | Benutzung vor Ort auf Anfrage - siehe Bibliothekshomepage |