Mikrosystemtechnik : Entwicklung und Technologie

Enthält: Menz,Wolfgang: Die Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungsgebiete (S.92-99) / Mohr,Jürgen u.a.: Ein Beschleunigungssensorsystem in LIGA-Technik - Aufbau und Eigenschaften (99-106) / Mokwa,Wilfried: Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen (106-107)

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Spektrum der Wissenschaft ((1994) Nr.2, S.92-107)
Ort / Verlag / Datum:Deutschland, 02.1994
Erscheinungsjahr:1994
Sprache:Deutsch
Klassifikation:621.38 Elektronik
007 Kybernetik
007.5 EDV
681.12 Messgerät
61 Medizin
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Beschreibung:Abbildungen
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