Mikrotechnik mit Ionenstrahlen
'Geräte, die Metallatome ionisieren und zu feinsten Strahlen bündeln, lassen sich als vielseitiges Werkzeug in der Halbleitertechnik einsetzen - Strukturen von wenigen Nanometern Grösse lassen sich damit entfernen, hinzufügen oder modifizieren.'
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Spektrum der Wissenschaft ((1991) Nr.12, S.138-144)
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| VerfasserIn: |
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| Ort / Verlag / Datum: | Deutschland, 12.1991 |
| Erscheinungsjahr: | 1991 |
| Sprache: | Deutsch |
| Klassifikation: | 621.3 Elektrotechnik
621.38 Elektronik |
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| Beschreibung: | Abbildungen |
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SOWIDOK
| Signatur | Signatur 2 | Verfügbarkeit | Bestellen |
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| Ablageschlagwort: 621.3 Elektrotechnik | Dokument Nr. D-019938 | Verfügbar | Benutzung vor Ort auf Anfrage - siehe Bibliothekshomepage |
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