Miniaturisierung von Schaltkreisen - Phasenmasken erweitern Einsatzbereich der optischen Lithographie

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Spektrum der Wissenschaft ((1991) Nr.10 S.24-26)
VerfasserIn:	Grünewald, Michael
Ort / Verlag / Datum:	Deutschland, 10.1991
Erscheinungsjahr:	1991
Sprache:	Deutsch
Klassifikation:	621.38 Elektronik 338.45:681.3 Datenverarbeitungsanlagenbau 62.001.6 Innovation: Technik
Region:	International
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