Mikrotechnik mit Ionenstrahlen
'Geräte, die Metallatome ionisieren und zu feinsten Strahlen bündeln, lassen sich als vielseitiges Werkzeug in der Halbleitertechnik einsetzen - Strukturen von wenigen Nanometern Grösse lassen sich damit entfernen, hinzufügen oder modifizieren.'
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Spektrum der Wissenschaft ((1991) Nr.12, S.138-144)
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| VerfasserIn: |
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| Ort / Verlag / Datum: | Deutschland, 12.1991 |
| Erscheinungsjahr: | 1991 |
| Sprache: | Deutsch |
| Klassifikation: | 621.3 Elektrotechnik
621.38 Elektronik |
| Zugänglichkeit: | Medien der SOWIDOK sind nur vor Ort in der AK Bibliothek Wien zugänglich Zugang erfordert Voranmeldung (siehe Bibliothekshomepage) Vervielfältigung nur unter den geltenden gesetzlichen Bestimmungen möglich |
| Beschreibung: | Abbildungen |
| Anmerkungen: | Level: 3 (Bewertung des Dokuments nach SOWIDOK-internen Kriterien: von 1 = sehr relevant, bis 5 = kaum relevant) |
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| Zusammenfassung: | 'Geräte, die Metallatome ionisieren und zu feinsten Strahlen bündeln, lassen sich als vielseitiges Werkzeug in der Halbleitertechnik einsetzen - Strukturen von wenigen Nanometern Grösse lassen sich damit entfernen, hinzufügen oder modifizieren.' |
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| Zugangseinschränkungen: | Medien der SOWIDOK sind nur vor Ort in der AK Bibliothek Wien zugänglich |
| Hierarchiestufe: | Unselbständig erschienen |
| Erscheinungsform: | Unselbständig erschienen |
| Medientyp: | Analog |
| Datenträger: | Analog |
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